WT-3000   300mm测试平台

       WT-3000少子寿命/扩散长度测试系统提供快速、无接触、无损伤的测试，从而判断该硅片的缺陷、沾污情况，缺陷及沾污情况将直接关系到成品器件产品的成品率，是一种新兴且有效的检测手段。
　　在WT-3000测试平台适用于300mm硅片，可集成如下测量技术：
－SPV / 表面光电压法测扩散长度
－u-PCD / 微波光电导衰减法测少子寿命
－V-Q / 非接触CV法监控氧化层质量
－JPV / 非接触测方块电阻
－Fe, Cr, Cu / 重金属含量测试

WT-2000   200mm及以下测试平台

　　WT-2000少子寿命/扩散长度测试系统提供快速、无接触、无损伤的测试，WT-2000能够进行硅片的全面扫描，能够得出金属沾污及缺陷的详细分布情况。
　　在WT-2000扫描平台适用于200mm及以下硅片，可集成如下测量技术：
－u-PCD / 微波光电导法测少子寿命
－SPV / 表面光电压法测扩散长度
－V-Q / 非接触CV法监控氧化层质量
－JPV / 非接触测方块电阻
－Fe, Cr, Cu / 重金属含量测试
－MCT / 窄带半导体材料少子寿命的变温测试

SCA3000　炉管沾污监测
　　SCA技术的良好一致性、操作简单和快速的测量使其已经成为炉管沾污监控的行业标准。SCA可以用来监控成熟的工艺，也可以帮助开发新的、更有效的生产方法。

主要特点：
－更短的培训周期、更易于集成到过程控制网络、更快分析测量结果。
－SCA-2500能实时提醒用户设备故障、误操作、硅片沾污、处理过程变化等问题。
－SCA-2500系统(100mm或200mm)和SCA-3000系统(300mm)，都能适应批量生产要求。SCA已经在全球13个国家、200多家客户成功应用。