SSM 2000　扩展电阻测试系统

　　SSM 2000扩展电阻测试是破坏性测量掺杂结深的技术，测量活跃的掺杂离子浓度随深度的变化，得到全面的剖面信息。测量外延厚度、掺杂浓度，过渡层厚度。能够用于监控外延反应器和离子掺杂设备。

主要特点:
－高倍的显微准直系统；
－全自动的磨片系统；
－能够测量十个数量级的测量范围；
－具有很高的空间分辨率；
－能集成超浅层测量选件；
－测量扩散深度；