WT-3000JPV 300mm无接触方块电阻监控
  WT-3000JPV无接触、无损伤、快速测量方块电阻,适用于300mm硅片测试。可进行全面扫描。

主要特点:
-与四探针测量结果保持高度一致性
-非接触测试,测试无沾污
-样品无需特别处理,可测有氧化层的样品
-能测超浅结
-快速全面扫描测试
-能测量分流 
WT-2000JPV 200mm及以下无接触方块电阻监控
    WT-2000JPV利用无接触、非破坏性、无沾污的测试方法,测试之后的硅片能直接进行后续工艺处理,适用于200mm及以下硅片测试。

主要特点:
-与四探针测量结果保持高度一致性
-无接触测试,对样品没有沾污
-样品无需特别处理,可测有氧化层的样品
-能测超浅结
-快速全面扫描测试
-能测量分流