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WT-3000JPV 300mm无接触方块电阻监控
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WT-3000JPV无接触、无损伤、快速测量方块电阻,适用于300mm硅片测试。可进行全面扫描。
主要特点: -与四探针测量结果保持高度一致性 -非接触测试,测试无沾污 -样品无需特别处理,可测有氧化层的样品 -能测超浅结 -快速全面扫描测试 -能测量分流 |
| WT-2000JPV 200mm及以下无接触方块电阻监控 | |
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WT-2000JPV利用无接触、非破坏性、无沾污的测试方法,测试之后的硅片能直接进行后续工艺处理,适用于200mm及以下硅片测试。 主要特点: -与四探针测量结果保持高度一致性 -无接触测试,对样品没有沾污 -样品无需特别处理,可测有氧化层的样品 -能测超浅结 -快速全面扫描测试 -能测量分流 |






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