WLL、 WML(On-The-Fly)　少子寿命在线测试模组

　　在线皮带传动，无接触少子寿命测试模组，采用u-PCD测试原理，WLL和WML(On-The-Fly) 可以在1-5点停顿或1-3点连续测试，测试速度快、重复性好。

主要应用：
－硅片进厂(出厂)检测及自动分选
－工艺过程少子寿命测试，达到转化效率的监控

WLT、WMT(On-The-Fly)　厚度、电阻率及PN型在线测试模组

　　在线皮带传动，无接触硅片电阻率（涡流法）、厚度（电容法）和P/N型号（表面光电压法）测试模组，WLT和WMT提供1-5点停顿或1-3点连续的测试，并可以根据需要自动分类，该模组测试速度快、精度高且重复性好。

主要应用：
－硅片进厂(出厂)检测及自动分选

CLS、CMS(On-The-Fly)　方块电阻在线测试模组

　　在线皮带传动，无接触方块电阻测试模组，采用表面光电压法，CLS和CMS(On-The-Fly)可以提供在1-5点停顿或在1-3点连续测试模式，具有精度高，重复性好的特点，同时适用于测试浅结，或覆有磷硅玻璃的样品测试

主要应用：
－扩散后硅片的方块电阻监控

WT-2000P　在线硅锭扫描模组

　　在线皮带传动，硅锭少子寿命、电阻率及型号测试系统，采用u-PCD测试原理，对硅块，硅片提供高重复性、快速的扫描测试，能够集成到全自动生产线，并实现多种数据通讯传输与应用
　
主要应用：
－根据少子寿命的扫描，实现硅块准确头尾位置的确定
－可以集成到全自动生产线，实现自动上下料和样品传送